微波在真空状态下，可处理温度高于40℃（有时甚至在15℃）时就会变质或降解的物料，真空干燥箱只能通过热传导，通常没有对流加热，干燥时间很长。微波真空干燥的产品有水果浓汁、茶粉、酶、蔬菜（蘑菇、蒜、大豆等），操作费用介于喷雾和冷冻干燥之间。在这些系统中，物料通常为膏糊状物料，铺放在传送带上，沿特殊制造的隧道（真空度为133.3~2666Pa）穿过，形成泡状物。复水性能好。
小型食品杀菌设备是一种物理杀菌方法，它不需要添加化学防腐剂就能够杀灭细菌、霉菌和虫卵，以及病毒等有害人体的微生物，它在杀灭有害微生物过程中，不会对食品残留毒性或放射性物质的污染，安全无害。也不会改变食品的色香味和营养成分。
如用微波加热的方法将蔬菜干燥成湿含量低于20%的“干菜”，可比传统方法效率高十多倍。这种方法不仅适用于蔬菜类的干燥，更适合于海藻类食品的干燥。在显微镜下观察微波干燥过的蔬菜，可发现其组织与新鲜蔬菜的接近程度仅次于冷冻干燥的产品，但其干燥时间比冷冻干燥短。微波也可对油炸类产品进行zui终干燥，不仅节省油，还可得到含油率低的清淡味**食品。
微生物的各种高分子极性基，产生激烈的回转与振动，使蛋白质以及核酸等产生变异，从而杀死细菌。一般情况下，霉菌、酵母和一般细菌加热至70~80℃就能杀死，若用微波1min就能达到杀菌的目的。对于霉菌的孢子，如青霉菌的孢子要在68~71℃经过20min的常规灭菌才能杀死，而用微波在68~71℃经过2min便于得到满意的结果。如用微波对“月饼”进行杀菌、防霉和保鲜，取得了良好效果，再也不用进口的“保鲜剂”。对大豆粉的干燥灭菌、对鸡精的干燥灭菌、对红心地瓜干燥灭菌等均取得了很好效果。
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